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Pfeiffer 普发TMU521P分子泵维修,Pfeiffer TMU521P普发涡轮分子泵进气法兰口DN 100 CF-F/DN 160 CF-F,出气法兰口 DN 25 ISO-KF,DN 100 CF-F抽速可达到290 L/s, DN 160 CF-F抽速可达到510 L/s,833HZ转速为50000 rpm,550HZ转速为33000 rpm,极限真空5X10-10 mbar, Pfeiffer普发TMU521P分子泵对应的控制器为:Pfeiffer TC600等。