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    热销的日本ygkcop玻璃基板/蓝宝石表面检查仪
    发布者:akiyama  发布时间:2021-03-01 15:23:36  访问次数:127

    日本ygkcop玻璃基板/蓝宝石表面检查仪

    YPI-MX-ΘDC 

    YPI-MN

    晶圆

    DF WF-1

    YPI-MX系列(自动转移)玻璃基板/蓝宝石表面检查装置



     YPI-MX-XYA /YPI-MX-ΘA
    玻璃基板表面检查装置/蓝宝石表面检查装置YPI-MX系列(自动转移)
    于透明玻璃基板的机器,也支持各种背面缎面基板。
    传感器自动对焦机制可实现高度精确的前后分离。
     
     

    设备规格

    对应板子尺寸200mm x 200mm 
    (如果需要200mm以上,请与我们联系)扫描方式XY扫描/Θ-X扫描(螺旋扫描)吞吐率
     □200mm(XY)约4分钟
    Φ200mm(Θ)2分钟以内
    Φ150mm(Θ)1.5分钟以内
    Φ100mm(Θ)1分钟以内工作安装转移机械手(背面吸力/边缘夹具)设备外形尺寸宽1,530毫米x深1,300毫米x高1,903毫米体重约1,000kg能量消耗约2.0kW(100V)待检查的基材硅晶片,透明玻璃基板,蓝宝石基板,LT晶片,SiC等检测灵敏度透明玻璃基板0.2μm
    硅晶圆0.1μm
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