1.1.1 主要功能：设备主要采用人工上下料、机械手自动实现槽体之间转移方式，对2--12英寸石英炉管或其他石英配件进行酸液浸泡、水槽喷洗、水槽溢流漂洗、水槽氮气鼓泡等方式进行处理，从而达到一个优异的清洗效果； 
1.1.2 被清洗炉管尺寸（Max）：2--12英寸的石英炉管，； 
1.1.3 设备形式：无尘室（class 1000级 fab）内放置型； 
1.1.4 清洗时间：0~999MIN（可根据实际工艺时间而定）； 
1.1.5 操作形式：触摸屏 自动/手动操作； 
1.2 设备组成 
1.2.1 该设备主要由壳体部分、槽体部分、管路系统、机械臂机构、排风系统、电控部分及防漏液盘组成； 
1.3 设备描述 
1.3.1 该设备是一个全自动（清洗）的处理设备； 
1.3.2 触摸屏（PROFACE、OMRON）显示 / 检测 / 操作； 
1.3.3 清洗工作过程由欧姆龙或三菱PLC 控制； 
1.4 设备特性 
1.4.1 需要漂洗能力强,性能稳定,安全可靠; 
1.4.2 需要设备成本合理,自动化程度高,使用成本低; 
1.4.3 设备上层为电器控制系统、机械臂机构及抽风系统，中层为工作区，下层和后下部为管道安装维修区； 
1.4.4 设备结构设计必须合理，方便工程师维护、维修，适宜生产线上大批次操作； 
1.4.5 机台要求有回收水装置，在排水管路上安装一个三通装置，并在程式中选择排水路径，将水排入纯回水管路或者DHF管路； 
1.4.6 配备一个可移动的清洗架，主要用于清洗小件Quartz和boat； 
1.4.7 在水槽左右侧壁处需要开溢流口（开关状态可受控制）； 
1.4.8 在整台设备的底部装有防漏液盘； 
1.4.9 台面网孔设计； 
1.4.10 水平调整：通过地脚调整设备水平； 
1.4.11 设备移动：设备装有树脂脚轮以备设备移动之用； 
1.4.12 上料平台操作面高度：950mm； 
1.4.13 操作面门设计：单开门透明的PVC活动门（上下推拉+配重）； 
1.4.14 对水槽和酸槽清洗操作流程可自由编写程式，并自动运行； 
1.4.15 在水槽两头需要安装水枪各一支； 
1.4.16 设计内外槽：内槽为酸槽，外槽为水槽；（内外槽，分别有溢流功能） 
1.4.17 使用酸液为：49%HF与DIW配比后的HF 
1.4.18 各槽材质：酸槽为PVDF（耐化学腐蚀），水槽为NPP（耐腐蚀）； 
1.4.19 防漏槽材质为：PP； 
1.4.20 机械手臂需要能够上下左右移动（上升时需要有略倾斜功能----左右落差3cm， 将酸液倒出）； 
1.4.21 机械手臂需要采用伺服电机控制； 
1.4.22 使用的DI WATER和酸液