ASML 4022.470.71493
ASML 4022.470.71493参数详解
ASML 4022.470.71493 是极紫外光刻机（EUVL）中的重要组件，下面将详细介绍其相关参数，以便更好地理解这一关键部件的性能和特点。
基本参数
● 型号：ASML 4022.470.71493
● 类型：光学系统组件
● 适用机型：主要用于ASML的极紫外（EUV）光刻机，例如NXE:3400B和NXE:3350B等型号。
● 尺寸：大约 500mm x 400mm x 300mm（具体尺寸可能因实际配置略有不同）
● 重量：约 25 公斤
光学性能参数
● 波长范围：13.5nm（极紫外光）
● 数值孔径（NA）：0.33
● 分辨率：支持高达 7nm 及以下工艺节点的芯片制造
● 透过率：大于 95%（在特定波长和条件下）
机械与电气参数
● 工作电压：24V DC
● 功耗：最大 150W
● 工作温度：20°C ± 2°C
● 湿度要求：20% - 80% 无凝露
● 接口类型：高速光纤接口和专用电气接口
精度与稳定性
● 定位精度：± 1nm
● 重复性：优于 0.5nm
● 振动敏感性：小于 1nm/s2
● 使用寿命：大于 10,000 小时
安装与维护
● 安装环境：洁净室环境，ISO 5 等级或更高
● 维护周期：建议每 6 个月进行一次全面维护
● 校准要求：每年需进行一次高精度校准，以确保性能
应用领域
ASML 4022.470.71493 组件主要用于半导体制造中的极紫外光刻技术，是实现先进制程芯片生产的关键部件。其高精度和稳定性确保了芯片在纳米级工艺节点的高良品率和高性能。
总结
ASML 4022.470.71493 作为极紫外光刻机中的重要光学组件，具有出色的光学性能、机械稳定性和高精度。其参数表明该组件在半导体制造过程中扮演着至关重要的角色，为现代芯片技术的发展提供了坚实的基础。

ASML 4022.470.71493

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