详细介绍:
这是最简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
优点:
A.不需要占用机房面积,布置很灵活的;
B.可以满足空气的洁净度;
C.造价最低。如此类无尘车间初投资约需要40万;
D.送风均匀度好。
缺点:
A.温湿度控制较差;
B.可以满足空气的洁净度;
C.FFU的维修频率高。
4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点
A、无尘车间的洁净度:
LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间,其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间,其洁净度一般为万级或十万级。
B、室内空气参数要求 :
(1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
(2)新风量大。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的最大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。
(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。
光学微电子行业净化工程设计方案分析对于常规电子厂房洁净室空调的设计,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。
无尘净化车间安装的主要净化设备有:
第一,无尘净化车间进风系统要安装,新风过滤箱,中央净化空调(中央净化空调要分为初效/中效/高效三个过滤段)末端有高效送风口。有必要时还装有净化增压箱。
第二,无尘净化车间回风系统要安装,回风口,过滤初效器,中效回风箱。
第三,进入无尘净化车间之前先进入缓冲区,缓冲区门安装电子互锁,更衣处放置洁净储衣柜,空气清新机。
第三,人和货物进入无尘净化车间须经过,风淋室,货淋室,传递窗主要传递小物品。
第四,在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台,层流罩(FFU),洁净棚(可移式净化工作棚),自净器。测洁净室洁净度用,激光尘埃粒子计数器。
第五,洁净厂房要设计观察窗方便参观。
风淋室
风淋室是现代工业洁净厂房中必不可少的洁净配套设备,它能去除人和物表面的尘埃,同时又对风淋室两侧的洁净区和非洁净区起到了缓冲与隔离的作用。该设备广泛应用于食品、医药、生物工程及精密电子等领域。风淋室分为“普通型和联锁型”两类:普通型采用手动启动吹淋的控制方式,个别操作者会选择“不经过吹淋就离开”的逃避方式。这使得洁净区的空气洁净度难以保证。甚至可能会影响到产品质量。
洁净室内,在动态情况下,细菌及尘埃的最大发生源是操作者,当操作者进入洁净室之前,必须用洁净空气吹淋其衣服表面附着的尘埃颗粒。
传递窗
传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间,或洁净室与洁净室之间的小货物传递,可有效的减少洁净室门的开启次数,把洁净区的污染减少的最低程度。根据使用要求,传递窗箱体表面可喷塑,内胆可用不锈钢,外表美观。传递窗的两扇门采用电控连锁或机械连锁装置,可有效的防止低洁净等级区内的灰尘带入高洁净区内,是净化车间必备佳品。
洁净工作台
洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求,在操作台上保持高洁净度的局部净化。洁净工作台可以在操作台的局部空间形成无菌、无尘的局部净化,其主要组成部件有预过滤器、高效过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。
高效送风口
本产品为万级,十万级乱流洁净室新建,改建工程净化空调系统终端送风装置。可广泛应用与电子工业,精密机械,冶金,化工等工业及医疗,制药,食品等部门的净化空调系统。本装置主要由静压箱,高效过滤器,铝合金扩散板,标准法兰接口等组成,造型美观,结构简单,使用可靠。本送风口为下装式,具有在洁净室内安装和更换过滤器方便的优点,高效过滤器采用机械压紧或液槽密封装置,确保风口安装无泄露,密封可靠,净化效果好。
封堵高效送风口至仅留测试孔
洁净室高效空气过滤器现场检漏测试一般均采用%扫描&检漏的方法,但部分洁净室施工方为 验证高效空气过滤器是否存在漏点,绕开%扫描&检漏测试,提出了将高效送风口全面封堵仅留一个测试小孔进行采样的方法,认为只要测试小孔的采样粒子数非零,即证明存在漏点,否则即无漏点。具体操作方法为将高效送风口的扩散孔板用透明胶或其他遮挡物全部封堵,仅留一测试小孔,如图 5 所示。
高效过滤器检漏
图 5 封堵高效送风口至仅留测试孔检漏方法示意图
由流体力学可知,阻力与风量的关系如式( 3) [ 6]所示。p= SQ 2( 3)式中p为高效空气过滤器进出风两侧的静压差,Pa; S 为阻抗, kg/ m7 ; Q为风量,m3 / s。因漏点两端的压差等于过滤器进出风两侧的 压差, 则可得非洁净空气比如式( 4) 所示。
式中!为非洁净空气比; QLeak 为通过漏点泄漏的非洁净空气量; QHEPA 为通过高效空气过滤器的洁 净空气量; S Leak 为漏点的阻抗; S HEPA 为高效空气过 滤器的阻抗。在封堵 高效送风口的过程中, 由于高效空气 过滤器及漏点的阻抗不变,由式(4)可知非洁净空气比不变。
封堵高效送风口至仅留测试孔后,送风静压箱区域内的静压与高效空气过滤器出风断面至扩 散孔板间区域的静压都将升高,且升高后两者近似相等,通过测试孔送出的送风量锐减,通过漏点漏出的非洁净空气量也相应锐减,但非洁净空气比不变,故此种测试方法的主要问题在于漏出的非洁净空气将被严重稀释,采样浓度接近高效送风气流浓度,很容易引起漏点的漏判。
|