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厂家直销福润德牌四管扩散炉放大图片

产品价格:10000   元(人民币)
上架日期:2014年10月30日
产地:青岛
发货地:青岛  (发货期:当天内发货)
供应数量:不限
最少起订:1台
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青岛福润德微电子设备有限公司

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  详细说明  
品牌:福润德产地:青岛
价格:10000人民币/台规格:完善

简要说明:福润德牌的厂家直销四管扩散炉产品:估价:10000,规格:完善,产品系列编号:齐全

详细介绍:

  

四管扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统组成。选用工控机微控方式或程控方式操作。

炉管配置:1-4/
晶圆规格:4"5"6"8"
炉体控制段:3/5
恒温区长:760800mm / 1000mm
反应室配置:石英管/碳化硅管
加热体材料:KANTHAL APM/A-1 或相当
温度均匀性:800-1300 /±0.5
300-900
/±1
工艺温度范围:300-1300
最大可控升温速度:15-20/min
最大降温速度:(12501000 ) 8/min
控制系统:工业计算机(10"-15"液晶屏)
送片系统:SiC悬臂/双石英杆
净化等级:100级或更好
净化风流:水平或垂直
送片速度:100mm-500mm/min
定位精度:2mm
气源气路:EP316L管道1/4"3/8"
阀门组件:SWAGELOK或相当
管道焊接:自动轨道焊接
工艺保证:提供典型的工艺


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