Led合金退火炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，可用于2-6英寸工艺尺寸。

■ Led合金退火炉主要功能如下???

◆ 全中文操作界面，可编辑参数，操作简便???????????????? ??

◆ 可保存多条工艺曲线，每条曲线可设置多步

◆ 工艺曲线的自动运行控制功能??????????????????????????? ??

◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能?????????????

◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能????? ????????????

◆ 智能升降温斜率控制功能

◆ PID参数自整定功能?????????????????

◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能

◆ 系统故障的检测与报警功能???????????????????????????? ???

◆ 系统误差修正（单点或多点动态修正功能）

◆ 智能悬臂推拉舟控制功能??????????????????????????????? ??

◆ 工艺气体的程序控制功能（电磁阀/质量流量控制器）

◆ 停电后断点继续运行功能等等????????????????????? ????????

★ 该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。

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■?Led合金退火炉 技术参数???? ??? ?

◆ 可配工艺管数量：1～4管/台 ?

◆ 工作温度范围：200～1000℃??

◆ 恒温区长度及精度：300～800mm? 800～1000℃±0.5℃

◆ 最大可控升温速度：15℃min;? ????

◆ 最大降温速度： 5℃min???

◆ 单点温度稳定性：800～1000℃±0.5℃/24h

◆ 真空系统：无油泵组（定制）