产品名称：PURERON陶瓷气体过滤器PGF系列

产品型号：PGF

产品介绍

具备高过滤精度和高耐腐蚀性等特性的陶瓷过滤器，高水平的去除气体管道内的粒子，同时实现高选择性。（可以满足200℃高温烘干、H20浓度消减到5ppb以下）

性能特点

●对于亚微米LSI工艺，须向使用点供应高纯度工艺气体。为此，超清洁管道也是一个主要问题。为了满足这些要求，Pureron Japan开发了使用陶瓷作为过滤元件的全新过滤器，并在稳定条件下实现了0.003μm的高精度过滤。蚀刻和薄膜所需的高选择性。

●去除诸如水和氧的杂质对于寻求高选择性是非常重要的。为了确保去除杂质，高温烘烤是必不可少的。Pureron Japan的陶瓷过滤器就是从这个角度开发的，可以在200°C下进行高温烘烤。通过免维护操作降低成本。

●三层过滤结构，取决于颗粒直径的大小，很少产生堵塞。与传统过滤器相比，陶瓷过滤器还具有良好的耐久性和耐热性。因此，生产停工造成的损失很小，实现了长期成本降低。

选型指南

可选功能与配件

过滤烘烤：200°C，2小时

金属帽

对于PGF-8型大流量，请联系我们。

技术参数

去除率：0.003μm

建议流速：10 ? 200L/min.

20℃时的设计压力：17MPa（2465PSIG）

正常工作压力：小于1MPa（145PSIG）

20℃时允许压差：max.9.6MPa（1392PSIG）

连续使用温度：max.120℃

烘烤温度：200℃

外部泄漏量：2×10?11Pa?立方米/秒（He）以下 （或更少）

结构要素

外壳：SUS316L内面粗度

粗糙度：Rmax0.7μm以下 （或更少）

元件：氧化铝陶瓷、Al2O3

密封：PTFE

接头：1/4”、3/8”、1/2”、3/4”垫片密封、压缩密封等

产品尺寸

上海连航机电科技有限公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术询问，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。为紧跟工业科技发展步伐，连航分别在德国和美国设立了公司和仓储，一举巩固了采购能力，扩大了由工厂直采加产品集散带来的二度成本优势。

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