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在应用脉冲功能时,脉冲参数的合理选择至关重要,因为它直接影响到镀层金属的结晶度、沉积速度、厚度分布、杂质含量等。
关于脉冲参数,在平均电流恒定的情况下,一般随着占空比的减小,沉积层晶粒尺寸变小,杂质(不含离子杂质)含量降低,但设备输出的最大平均电流减小,设备利用率降低。例如:峰值电流30A的脉冲电源,使用20%占空比较使用30%占空比结晶细致,但使用20%占空比最大平均电流约6A,而使用30%占空比最大平均电流为9A。
综合比较占空比对电沉积的影响,脉冲占空比一般选择10-30%较为合适。关于脉冲频率,应用中选择1000Hz左右的较多。
HNZM系列脉冲电源技术参数
1.输出电流:0-最大输出电流可调,可输出正、负向电流,电流精度:1‰
2.最大输出电压:0-最大输出电压
3.输出模式:稳流模式
4.输出频率:1-10000Hz
5.输出波形:软件编辑任意波形
6.记录功能:波形显示、数据记录,可显示记录输出电压及输出电流波形。
7.波形编辑:一个周期可编辑最多可编辑4024个点