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ASML 4022.471.88171
ASML 4022.471.88171核心组件简介及技术参数
一、产品概述ASML 4022.471.88171 是一款自动化控制模块,专为精密制造与半导体设备设计。该组件由的自动化技术供应商宁德润恒自动化提供,具备高可靠性、控制及快速响应特性,广泛应用于光刻机、晶圆检测设备及加工系统中,可显著提升设备运行效率与稳定性。
二、核心技术参数
1. 控制精度
○ 定位分辨率:≤0.1μm
○ 运动重复精度:±0.5μm(XYZ三轴)
○ 响应时间:≤1ms(闭环控制)
2. 电气性能
○ 工作电压:24VDC ±5%
○ 大功耗:30W(空载)/ 50W(满载)
○ 通信接口:EtherCAT、Profinet、TCP/IP(支持多协议切换)
3. 机械特性
○ 尺寸(长×宽×高):200mm × 150mm × 50mm
○ 安装方式:标准DIN导轨安装或定制支架
○ 工作温度:-10℃至55℃(工业级防护)
4. 防护等级
○ IP67(防尘防水设计,适应恶劣环境)
○ 抗震等级:≥5G(持续运行稳定性)
三、应用领域与优势
● 半导体制造:适用于晶圆搬运、光刻对准等精密环节,确保纳米级工艺精度。
● 自动化生产线:集成于高速分拣、组装设备,提升生产节拍与良品率。
● 技术优势:
1. 双冗余控制架构,故障率降低30%;
2. 智能诊断功能,实时监测运行状态;
3. 兼容主流工业软件(如ASML、TWINCAT等),部署便捷。
四、选型建议根据设备负载、环境条件及精度需求,可配置不同版本模块(如标准版/扩展版),建议联系宁德润恒自动化技术团队获取定制化方案。
ASML 4022.471.88171
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