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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 材质 | 铝合金（可定制不锈钢腔体） | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 设备外观颜色 | 银灰色 | ||
| 系统控制 | PLC | ||
| 频率 | 13.56M/40KHz | ||
| 腔体内部尺寸 | 375×375×430mm（宽×高×深） | ||
| 工作托盘 | 标配一套，材质可选配（铝材、钢丝网） | ||
| 双级旋片泵（油泵） | 40㎡/h | ||
| 流量范围 | 0-300SCCM | ||
| 电极板数量 | 水平八层 | ||
| 单层最大处理面积 | 405mm*380mm | ||
| 工作真空度 | 20Pa-50Pa | ||
| 抽真空时间 | ≤80S | ||
| 破真空时间 | ≤20S | ||
| 规格 | 10到200升 | ||
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