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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 设备名称 | 10L真空等离子处理设备 | ||
| 设备型号 | CV01系列 | ||
| 等离子功率 | 300W/600W/1000W可选配 | ||
| 激发频率 | 40KHz/1 3.56MHz可选配 | ||
| 外形尺寸 | 标配L700*W700*H400mm | ||
| 真空泵类型 | 油泵/干泵 | ||
| 控制方式 | PLC HMI | ||
| 压缩空气 | ≥0.5MPa，中6 PU管 | ||
| 工艺气体 | MFC.0-100SCCM，20.25MPa | ||
| 中6 PU管 | |||
| 工作真空度 | 10- 120Pa | ||
| 腔体容积 | 10L | ||
| 有效处理层 | 2层 | ||
| 气体通道 | 2路(默认AR和O2 | ||
| 可选配) | |||
| 绝缘材料 | PTFE或99氧化铝陶瓷 | ||
| 外部钣金 | 冷轧板喷涂或镜面不锈钢 | ||
| 腔体材料 | AL6061铝材或316L不锈钢 | ||
| 备注 | 设备支持定制，适配客户产品调整设计及配置 | ||
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