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在线式真空等离子处理设备IN-LINE作用时间短反应速率高

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产品价格：￥480000.00（人民币）

规格：白色

发货地：江苏苏州

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寒武纪技术（苏州）有限公司

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商品详情

产品参数
设备输入电源	220V/AC
50-60Hz
等离子电源	RF13.56MHz
Max 600W
真空泵	双极旋片泵，抽速≥60m3/h
腔室容积	L400W400H100mm
物料传送方式	皮带传送，推料机构
控制方式	PLC HMI
工作真空度	0-100Pa
工艺气体通道	两路气体，标配氩气和氧气
气体流量控制	MFC
0-505ccm可设
通讯功能	支持设备信息上传及前后段工序设备联动通讯
设备尺寸	L1666W1000H1600mm (高不含三色灯)
设备重量	≥500kg
用途	表面活化
产品规格	10到200升
品牌	寒武纪

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