贵州半导体气路整体规划

但也不排除由于浮子导向杆与止动环不同心，造成浮子卡死。处理时可将仪表拆下，将变形的止动器取下整形，并检查与导向杆是否同心，如不同心可进行校正，然后将浮子装好，手推浮子，感觉浮子上下通畅无阻卡即可，另外，在浮子流量计安装时一定要垂直或水平安装，不能倾斜，否则也容易引起卡表并给测量带来误差。测量误差大安装不符合要求;对于垂直安装浮子流量计要保持垂直，倾角不大于20度;对于水平安装浮子流量计要保持水平，倾角不大于20度;浮子流量计周围100mm空间不得有铁磁性物体;安装位置要远离阀门变径口、泵出口、工艺管线转弯口等。
1.组成
集中供气系统一般有高压钢瓶、气体切换装置、减压装置、阀门、管线、过滤器、报警器、终端箱、调节阀等部分组成。
2.特点：经济性和安全性
（1）经济性：建设一个集中的气瓶间可以节省有限的实验室空间，更换气瓶时不需要切断气体，保证气体的连续供应。因为使用同一气体的所有点都来自于同一气源，所以使用者只需要管理较少的钢瓶，支付较少的钢瓶租金。此种供气方式终会减少运输费用，减少退还给气体公司空瓶中的余气量，达到经济适用的目的。
（2）安全性：气源集中存储供应，保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的侵害。
3.施工准备
3.1施工人员在施工前应认真核对施工设计图纸，按照图纸技术要求组织施工，严格贯彻执行有关的规程、规范及质量检验评定标准，有变动更改处与设计人员及时办理设计变更洽商，不随意更改设计图纸，重点施工部位应进行详细的施工技术交底。
3.2施工队伍进入施工现场后，听从发包方的统一安排，对现场各种成品做好保护工作，做好临时用电的安排，认真检查用电设备、配电箱、导线。
3.3材料、设备应有出厂合格证和材质证明文件、检测报告，进场后会同发包方进行质量、规格、数量等核验工作并形成书面检查记录。
4.气路管线敷设安装
4.1本工程采用的316L不锈钢管道（BA级），管道的连接方式为氩弧焊连接。
4.2管路设计规划要点：
（1）气瓶阀出口为GB标准的外螺纹形式（G5/8”），为了便于管路系统与气瓶连接，故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头（气瓶接头）。
（2）为了在使用过程中容易更换气瓶，从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的高压螺旋管。
（3）由于气瓶内部的气体压力为20-25MPa左右，使用点的压力较小，气体压力有变化，而且数值差距较大，故应在气瓶出口处设置一级减压阀，气体使用点前设置二级减压阀。
（4）每种气体的系统中应设有紧急情况下能够快速切断供气的装置，为了保证开关系统的方便快捷，本项目的开关阀采用球阀。
（5）为了防止更换器瓶时外界空气进入管路系统，应设置球阀，球阀与排空管相连，排空管应可靠连接大气，可燃性气体和助燃性气体的排空管应独立设置，排空管出口应加装防爆逆止阀以防止回火现象的发生。
（6）在易燃气体氢气和乙炔系统中，为了防止回火现象的发生，应在系统低压端（一级减压阀后）加装防爆逆止阀。
（7）气体管路系统出口处，为了便于开关系统，应设有使用点球阀。
（8）为了保证气体的纯度及管路系统的气密性，所有管道采用316L不锈钢管道，内表面经BA处理。
（9）为了便于维修和更换阀件，同时保证系统的气密性，管道与阀件的连接，应采用高压双卡套接头连接。
（10）管道固定件（管夹）应采用耐高温材料，要求坚固、轻巧、耐用。
（11）所用调节阀控制面板、出口点控制面板及所有管道上，都应粘贴有气体成分的气体标识。
（12）瓶固定架应采用ABS工程塑料。

倾角传感器，是一种测量相对于水平面的倾角变化量的传感器。其实，倾角传感器是运用惯性原理的一种加速度传感器。根据基本的物理原理，在一个系统内部，速度是无法测量的，但却可以测量其加速度。如果初速度已知，就可以通过积分算出线速度，进而可以计算出直线位移，所以它其实是运用惯性原理的一种加速度传感器。倾角传感器被用于各种测量角度的应用中。，高精度激光仪器水平、工程机械设备调平、远距离测距仪器、高空平台安全保护、定向卫星通讯天线的俯仰角测量、船舶航行姿态测量、盾构顶管应用、大坝检测、地质设备倾斜监测、火炮炮管初射角度测量、雷达车辆平台检测、卫星通讯车姿态检测等等。
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4.3施工技术要点：
（1）所有不锈钢管道两端用塑料盖密封，在进入施工现场后，安装前，方可出去塑料盖。
（2）所有管件在安装进系统前，应用高纯度氮气进行三遍以上吹扫。
（3）管道敷设时应注意平直，弯管处采用弯管器，不得徒手弯曲，切断管道时，用专用切管器操作，严禁用锯子锯断管道。管道切断后，应用专用工具处理断口，严禁用普通锉刀处理。
（4）在管道的行进路线中，每隔1.5米应设置一组管夹。
（5）管道在穿越墙体及楼板处应设置套管，套管与管道之间的间隙应采用不然材料填充密封。
（6）所有调节阀固定面板、所有出口点固定架及所有管道上，都应贴设标有对应气体的成分及浓度的气体标识。
（7）所有系统部件安装完毕后，应用高纯度氮气进行三遍以上的大流量吹扫。
（8）吹扫完毕后，用高纯度的氮气进行捡漏保压测试，测试压力应为工作压力的1.5倍。
（9）在整个施工过程中应注意施工安全，特别是高空作业时（在梯子或脚手架上施工），应有专人看护。
5.施工验收
施工结束后，我方应会同发包方进行集中供气的系统检查工作，检查的内容如下：
（1）部件材质是否符合合同中材质的要求。
（2）所有连接点是否安全可靠。
（3）管道布局是否合理、美观。
（4）气体标识是否粘贴正确、美观。
（5）管道连接是否正确。
（6）压强测试：在系统管道中充入高纯氮气，压力与工作压力相等，保证24小时目测所有部件是否有断裂及变形，管道固定架及管夹是否产生松动及脱落现象。
（7）压降测试：在系统管道中充入高纯氮气，压力为工作压力的1.5倍，保压12小时后，压力表读数变化是否小于0.25%。
（8）泄漏测试：在系统管道中充入高纯氮气，压力为工作压力的1.5倍，在系统所有部件连接处涂抹专用检漏液，每隔5分钟检查是否有气泡产生，此测试过程持续30分钟。

6.质量保证措施
6.1气体管道
（1）项目安装施工的工艺应符合以下行业标准的相关规定：工业金属管道工程施工及验收规范（GB50235-97）现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范（GB50236-2011）。
（2）项目我方派遣具有丰富经验的施工人员到现场进行安装施工工作。
（3）在满足实验要求的前提下，应尽量将各种管道的管线短、弯头少，以利于节约材料和减少阻力。
（4）在安装及检修过程中尽量不影响试验工作。
6.2施工验收阶段做到，问题无论大小，及时快速的解决和处理。
6.3在项目施工过程中，严格规范、明确线管管理人员的责任，做到责权分明，统一管理。施工现场的施工部署、质量和施工方法由现场施工员负责。材料进场检查、存放和统一调配由材料员负责，施工员配合。施工过程中的质量控制、监督由专项质检员负责。现场安全员负责施工过程中的安全教育和监督。项目部经理主要负责对工程各项措施、安排的制定和落实统一进行监督和管理。
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