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干泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1,低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2.半导体刻腐蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到生成腐蚀气体和研磨微粒;3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺。在这些工艺中,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排除泵外,用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4.化学工业、医学工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。