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进口Agilent TwisTorr 304 FS涡轮分子泵性能指标:
N2:250 L/s
He:255 L/s
H2:220 L/s
Ar:250 L/s
泵 ISO 100:
泵 CFF 6 英寸:
泵 ISO 160:
泵 CFF 8 英寸:
抽速:
使用 CFF 6 英寸或 ISO 100:使用 CFF 8 英寸或 ISO 160:
N2:250 L/s
He:255 L/s
H2:220 L/s
Ar:250 L/s
全转速zui大气载(使用推荐前级泵)
环境温度 (25 °C)
水温 (25 °C,50 L/h)
N2:170 sccm
N2:170 sccm
Ar:110 sccm
Ar:110 sccm
压缩比与前级压力关系:
N2:> 1 × 1011
N2:> 10 mbar
He:> 1 × 108
H2:> 10 mbar
H2:1.5 × 106
H2:> 4 mbar
Ar:> 1 × 1011
Ar:> 10 mbar
极限真空*(使用推荐的前级泵) (5 m3/h)
< 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr)
抽气口法兰
8 英寸外径 CFF
2.6 英寸外径 CFF
ISO 160
ISO 100
前级管道法兰
KF 16 NW(KF25 — 可选)
转速
60000 rpm(1010 Hz 驱动频率)
启动时间
小于 3 分钟
推荐的前级泵
机械:Agilent DS 102
干泵:Agilent SH 110
工作位置
任意
操作环境温度
+5 °C 至 +35 °C
空气相对湿度
0%–90%(无冷凝)
烘烤温度
抽气口法兰zui高温度 120 °C(CFF 法兰)抽气口法兰zui高温度 80 °C(ISO 法兰)
润滑油
yognjiu性润滑
冷却要求
风扇冷却(环境温度 5–35 C)
水冷(如果环境高于 35 ℃,需强制水冷)
冷却水
zui小流速:
50 L/h (0.89 GPM)
温度:
+15 ℃ 至 +30 ℃
压力:
3 至 5 bar(45 至 75 psi)
噪声声压级
在 1 米处,< 50 dB(A)
储存温度
-40 °C 至 +70 °C
zui高海拔
3000 m
重量 kg(磅):
5.5 (12.3)
7.5 kg (16.5)
5.7 kg (12.6)
9.7 kg (20.9)