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弹性敏感元件：弹簧管(波登管)分为C型管、盘簧管、螺旋管等型式。一般采用冷作硬化型材料坯管，在退火态具有很高的塑性，经压力加工冷作硬化及定性处理后获得很高的弹性和强度。弹簧管在内腔压力作用下，利用其所具有的弹性特性，可以方便地将压力转变为弹簧管自由端的弹性位移。弹簧管的测量范围一般在0.1MPa～250MPa.膜片敏感元件是带有波浪的圆形膜片，膜片本身位于两个法兰之间，或焊接在法兰盘上或其边缘夹在两个法兰盘之间。膜片一侧受到测量介质的压力。这样膜片所产生的微小弯曲变形可用来间接测量介质的压力。压力的大小由



我国对MEMS技术也很重视，从1989年开始立项，研究MEMS产业化。特别是十五规划将MEMS计划也列入863重大专项，每年有十几亿元投入到MEMS中。到目前为止，国内的MEMS研发机构较多，但是目前可能还是依托于以前的院所，例如49所、13所，包括沈阳工艺研究所等，同时各大高校，诸如北京大学、、重庆大学等有自己的MEMS研究实验室。我国也在建纳米城，建MEMS研发平台。因此，我国目前在微机械部分有一定的竞争力。现在一共是1600多家，接近1700多家MEMS厂家，压力类估计有七八十家。因



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