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Agilent Turbo-V81-M安捷伦涡轮分子泵进气法兰口CFF4/ISO63,出气法兰口KF16,抽速可达到77 L/s ,转速为80000rpm,极限压力5X10-10 mbar (3.8X10-10 Torr),Agilent Turbo-V81-M对应的控制器为:Agilent Turbo-V81-AG